Bij het sputterproces wordt een bronmateriaal, een zogenaamd target, verdampt om een dunne, hoogwaardige film af te zetten op producten zoals halfgeleiders, glas en beeldschermen. De samenstelling van het target bepaalt direct de eigenschappen van de coating, waardoor materiaalkeuze cruciaal is.
Er wordt gebruik gemaakt van een breed scala aan metalen, elk geselecteerd op basis van specifieke functionele voordelen:
Basismetalen voor elektronica en tussenlagen
Hoogzuiver koper wordt gewaardeerd om zijn uitzonderlijke elektrische geleidbaarheid. Doelstellingen van 99,9995% zuiver koper zijn essentieel voor het creëren van de microscopische bedrading (interconnecties) in geavanceerde microchips, waar minimale elektrische weerstand van cruciaal belang is voor snelheid en efficiëntie.
Hoogzuiver nikkel is een veelzijdig en veelzijdig materiaal. Het wordt voornamelijk gebruikt als een uitstekende hechtlaag en een betrouwbare diffusiebarrière, die voorkomt dat verschillende materialen zich vermengen en de structurele integriteit en levensduur van meerlaagse apparaten waarborgt.
Vuurvaste metalen zoals wolfraam (W) en molybdeen (Mo) worden gewaardeerd om hun hoge hittebestendigheid en stabiliteit en worden vaak gebruikt als robuuste diffusiebarrières en voor contacten in veeleisende omgevingen.
Gespecialiseerde functionele metalen
Hoogzuiver zilver heeft de hoogste elektrische en thermische geleidbaarheid van alle metalen. Daardoor is het ideaal voor het aanbrengen van zeer geleidende, transparante elektroden in touchscreens en briljant reflecterende coatings met een lage emissie op energiebesparende ramen.
Edelmetalen zoals goud (Au) en platina (Pt) worden gebruikt voor zeer betrouwbare, corrosiebestendige elektrische contacten en in gespecialiseerde sensoren.
Overgangsmetalen zoals titanium (Ti) en tantaal (Ta) zijn cruciaal vanwege hun uitstekende hechtings- en barrière-eigenschappen. Ze vormen vaak de basislaag op een substraat voordat andere materialen worden aangebracht.
Hoewel deze diverse materiaalkeuze moderne technologie mogelijk maakt, blijven de prestaties van koper op het gebied van geleidbaarheid, nikkel op het gebied van betrouwbaarheid en zilver op het gebied van superieure reflectiviteit ongeëvenaard in hun respectievelijke toepassingen. De constante kwaliteit van deze zeer zuivere metalen vormt de basis voor hoogwaardige dunnefilmcoatings.
Geplaatst op: 24 november 2025
